背压法氦质谱检漏的简单步骤

质谱检漏实际应用中有很多具体的方法,其中背压法也是其中一种,我们来了解下背压法氦质谱检漏的几个步骤。

背压法氦质谱检漏检漏过程主要包括三个步骤:

首先是充压。将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放浸泡一定时间。如果被检件有漏孔,示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。随着浸泡时间的增加和充压压力的提高,这个被检件内部的示漏气体分压也会逐渐升高。

然后是净化。用干燥氮气或干燥空气在充压容器外部或在其内部吹被检件,在不具备气源时可以静置被检件,这样做的目的是去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。这个过程中,会有部分示漏气体从被检件内经漏孔流失,导致被检件内部示漏气体分压力下降。因此净化阶段时间越长,示漏气体的分压将越大。

第三个步骤就是检漏。经过净化的被检件被放入真空室,真空室与检漏仪相连,进行检漏。抽真空后,由于压差作用,示漏气体通过漏孔从被检件内部流出,而后经过真空室进入检漏仪,根据检漏仪的输出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。

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